产品
联系我们
产品描述
| 名称 | 规格 | |
| 型号 | LAP-100U | LAP-200U |
| 磨头数量 | 1 | 2 |
| 样件直径 | 3个（可选4英寸），可用于研磨和抛光3个（可选4英寸）晶圆 | 5（可选6英寸），可用于研磨和抛光5（可选6英寸）晶圆 |
| 抛光量分辨率 | 1μm | |
| 样品倾斜角度 | 0-10度可调 | |
| 样品加载力 | 0-4公斤连续可调 | |
| 样本摆动速度 | 可调 | |
| 摆臂摆动幅度 | 0-15度可调 | |
| 抛光盘直径（mm） | φ300 | φ400 |
| 抛光盘电机功率 | 1KW | |
| 转速（转/分） | 5-1500 | |
| 旋转方向 | 逆时针/顺时针可选，正反转自动切换 | |
| 四速手动（r/min） | V1=5、V2=15、V3=25、V4=50（用户可自定义速度） | |
| 自动研磨抛光参数 | 64种（参数包括：速度、时间、磨盘旋转方向） | |
| 研磨抛光参数 | 用户可以设置和调用 | |
| 滴液器数量 | 4组 | |
| 滴速 | 1-100毫升/分钟 | |
| 电源 | 电压：AC220V，频率：50HZ | |
| 尺寸（毫米） | 760 x 430 x 360（长*宽*高） | |
| 重量 | 30kg | |
: 下一个
